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10/5(一)
工商時報偏藍龍華科大半導體研究大突破 技術登國際期刊並完成專利布局
隨著全球半導體製程持續邁向埃米(Angstrom)世代,晶片內部金屬導線的線寬與間距不斷微縮,傳統純銅(Cu)互連導線也面臨漏電流增加、介電層可靠度下降,以及經時介電崩潰(Time-Dependent Dielectric Breakdown, TDDB)等材料與可靠度挑戰,這些發生在奈米甚至埃米尺...
