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中國工博會 上海新創廠商展出研製EUV樣機

來源 中央社

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正在中國上海舉行的中國國際工業博覽會上,一家上海新創廠商低調展出7奈米以下最先進製程晶片所需極紫外光(EUV)微影設備樣機。美國對中國實施先進技術出口管制,中國則由政府主導突破限制。其中,美國阻止荷蘭艾司摩爾(ASML)向中國出口EUV微影設備後,中國自行開發深紫外光(DUV)微影設備,以提升先進製

中國工博會  上海新創廠商展出研製EUV樣機(新聞配圖)
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