打破ASML壟斷？陸高端光刻機心臟「EUV光源」樣機問世

作者林兪彤10/15 13:12

文章摘要

中時新聞網 · 文章頁摘要

第二十六屆中國國際工業博覽會上，被視為高端光刻機「心臟」的極紫外（EUV）光源系統樣機首度公開展出。由朗道燧岩（上海）科技有限公司研發的這套系統，據稱國產化率已達90％，目前可用於晶片曝光測試，但距離商業

全文請至原站閱讀。