MoneyDJ理財網

汎銓與國研院攜手,突破EUV結構分析瓶頸

機構署名 MoneyDJ新聞全文約 525 字

文章摘要

MoneyDJ理財網 · 文章頁摘要

汎銓(6830)與國研院國家儀器科技研究中心合作,開發用於新一代高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV)製程的材料分析技術,透過低於100°C的鍍膜製程,保護晶圓上的微細結構,降低檢測時造成的損傷,並打入全球前三大半...

汎銓與國研院攜手,突破EUV結構分析瓶頸(新聞配圖)
配圖來源:MoneyDJ理財網

MoneyDJ新聞 2026-10-27 10:44:22 周佩宇 發佈汎銓(6830)與國研院國家儀器科技研究中心合作,開發用於新一代高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV)製程的材料分析技術,透過低於100°C的鍍膜製程,保護晶圓上的微細結構,降低檢測時造成的損傷,並打入全球前三大半...