汎銓攜國研院突破EUV分析瓶頸 搶攻A14及A10商機

國家實驗研究院今日攜手汎銓科技（6830）發表新一代極紫外光（EUV）製程後結構分析技術成果，雙方合作不僅突破先進光阻材料低溫保護及高精度分析瓶頸，更進一步將服務從材料分析延伸至類晶圓廠（Like Fab）製程模擬、鍍膜及驗證，建立一條龍服務模式，搶攻1.4奈米（A14）、1奈米（A10）及未來埃米世代新材料商機。