助攻AI晶片穩定運作!龍華科大林宗新研發新技術 登美國期刊 - 樂聯網
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晶片越做越小,藏在其中的導線卻面臨越來越大的挑戰。隨著全球半導體製程邁向埃米(Angstrom)世代,晶片內部金屬導線的線寬與間距持續微縮,傳統純銅(Cu)導線也開始面臨漏電流增加、介電層可靠度下降,以及經時介電崩潰(TDDB)等材料與可靠度問題。...

晶片越做越小,藏在其中的導線卻面臨越來越大的挑戰。隨著全球半導體製程邁向埃米(Angstrom)世代,晶片內部金屬導線的線寬與間距持續微縮,傳統純銅(Cu)導線也開始面臨漏電流增加、介電層可靠度下降,以及經時介電崩潰(TDDB)等材料與可靠度問題。...