科林研發、imec 擴大合作!布局 High-NA EUV 乾式光阻,加速量產進程
作者 林妤柔全文約 1,251 字
文章摘要
科技新報 · 文章頁摘要人工智慧(AI)運算需求持續攀升,半導體產業的技術競爭已從電晶體微縮,進一步延伸至先進封裝、3D 整合及新世代微影技術。科林研發(Lam Research)宣布擴大與 imec 策略合作,新增先進 3D 整合技術及 Aether 乾式光阻兩大聯合研發項目,分別瞄準次世代封裝與記憶體製程,以及 Hig...

人工智慧(AI)運算需求持續攀升,半導體產業的技術競爭已從電晶體微縮,進一步延伸至先進封裝、3D 整合及新世代微影技術。科林研發(Lam Research)宣布擴大與 imec 策略合作,新增先進 3D 整合技術及 Aether 乾式光阻兩大聯合研發項目,分別瞄準次世代封裝與記憶體製程,以及 Hig...