風傳媒助攻High-NA EUV新材料驗證！汎銓攜手國研院布局「類 FAB」技術，盼縮短先進製程試產週期
作者 魏鑫陽全文約 1,138 字
文章摘要
風傳媒 · 文章頁摘要先進製程持續微縮，新材料與新結構從研發走向量產前，必須經過更多製程驗證。半導體材料分析業者汎銓（6830）27日宣布，攜手國家實驗研究院國家儀器科技研究中心，發展「類 FAB 產線驗證技術」，將服務從製程完成後的材料分析，延伸至量產前的製程模擬與驗證。汎銓表示，透過在接近實際產線條件下觀察材料反應，可望提早發現問題，減少進入晶圓廠試產後反覆調整的時間與成本。......
先進製程持續微縮，新材料與新結構從研發走向量產前，必須經過更多製程驗證。半導體材料分析業者汎銓（6830）27日宣布，攜手國家實驗研究院國家儀器科技研究中心，發展「類 FAB 產線驗證技術」，將服務從製程完成後的材料分析，延伸至量產前的製程模擬與驗證。...