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汎銓攜手國研院國儀中心發展「類FAB產線驗證技術」

作者 鄭國強全文約 1,382 字

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汎銓董事長柳紀綸表示,把ALD技術應用在材料分析上,應用於新一代 EUV光阻分...

汎銓攜手國研院國儀中心發展「類FAB產線驗證技術」(新聞配圖)
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AI晶片研發分析平台汎銓科技股份有限公司(6830)於27日宣布,攜手國家實驗研究院國家儀器科技研究中心(以下簡稱「國研院國儀中心」),共同推進「類FAB(Fab-like)產線驗證技術」,進一步將既有材料分析能力向前延伸至製程模擬與生產驗證環節。...