三立新聞網中國自研EUV光源樣機首度亮相 遭疑技術粗糙恐涉發愛國財
署名 盧巧萍－國際中心全文約 359 字
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三立新聞網 · 文章頁摘要中國半導體要突破極紫外光EUV技術，卻還有一段長路要走！日前中國新創業者、號稱首度亮相EUV光源樣機，宣稱9成以上零件是中國國產，但 中國官媒《解放日報》報導，這套設備仍屬低功率系統，量產還要三到五年，技術實力和募資動機都引發質疑。
中國工業博覽會日前登場，大秀科技肌肉，但在創新科技館上海市展區角落，銀色儀器卻引發高度關注。中國媒體報導宣稱：「（中國）國產EUV光源樣機首秀，（中國）國產化率90%，但量產仍需3至5年」。 中國半導體新創朗道科技旗下朗道燧岩，號稱已開發極紫外光EUV的光源，並且展示微影設備樣機。...