科技新報

選擇性沉積、低溫磊晶超關鍵!ASM 全面布局新材料與解方,迎戰 GAA、CFET 難題

作者 林妤柔

隨著台積電 2 奈米預期年底量產,明年(2026 年)下半年正式跨入埃米時代,晶片微縮已達到物理極限,原子層沉 […]...