← 科技新報報導科技新報選擇性沉積、低溫磊晶超關鍵!ASM 全面布局新材料與解方,迎戰 GAA、CFET 難題作者 林妤柔2025/9/19 14:45#半導體21 家 · 182 篇#晶圓7 家 · 31 篇#材料、設備1 家 · 14 篇#ALD#ASM International#Glen Wilk#先進製程4 家 · 6 篇#磊晶隨著台積電 2 奈米預期年底量產,明年(2026 年)下半年正式跨入埃米時代,晶片微縮已達到物理極限,原子層沉 […]...https://technews.tw/2025/09/19/asm-glen-wilk-talk-about-ald-and-material-future/