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名副其實「工具人」！台積電提升 ASML EUV 效率，六年晶圓產量增加 30 倍

署名 TechNews 編輯台

台積電（TSMC）提升 ASML 極紫外光（EUV）曝光機效率取得重大進展，2019 年以來，台積電以系統級最 […]...

https://technews.tw/2025/09/19/how-tsmc-managed-to-increase-efficiency-of-asmls-euv-tools/