科技新報

材料從「鎢」轉型「鉬」!科林研發 ALD 新設備,開啟半導體金屬化新轉折

作者 林妤柔

科林研發(Lam Research)推出 ALTUS Halo,這是全球首款利用金屬鉬的特性來生產先進半導體的 […]...