馬斯克晶圓夢跨大步,Terafab 傳 2027 年進駐首台 ASML EUV 曝光機
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科技新報 · 文章頁摘要根據外媒報導,引述知情人士透露,馬斯克(Elon Musk)旗下的 Terafab 預計將於 2027 年年中取得首台由艾司摩爾(ASML)製造的極紫外光(EUV)微影系統(曝光機)。這台曝光機抵達時,位於美國德州奧斯汀附近的研發晶圓廠可能尚未做好接收準備;研究機構 SemiAnalysis 則預計...

根據外媒報導,引述知情人士透露,馬斯克(Elon Musk)旗下的 Terafab 預計將於 2027 年年中取得首台由艾司摩爾(ASML)製造的極紫外光(EUV)微影系統(曝光機)。這台曝光機抵達時,位於美國德州奧斯汀附近的研發晶圓廠可能尚未做好接收準備;研究機構 SemiAnalysis 則預計...