聯合新聞網中微攻蝕刻設備 大突破
作者 黃雅慧全文約 719 字
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聯合新聞網 · 文章頁摘要陸蝕刻機巨頭中微公司宣布，Primo Domingo®氣相高選擇性蝕刻設備全球首台機器付運大陸國內重要半導體研發製造客戶。填補大陸3D製程關鍵工藝空白，顯示大陸蝕刻設備國產化再進階。
陸蝕刻機巨頭中微公司宣布，Primo Domingo®氣相高選擇性蝕刻設備全球首台機器付運大陸國內重要半導體研發製造客戶。填補大陸3D製程關鍵工藝空白，顯示大陸蝕刻設備國產化再進階。 蝕刻機是半導體製造裡的精密雕刻刀，曝光機負責把電路圖案「畫」到晶圓表面，蝕刻機則負責把這些圖案「刻」進材料里，形成晶...