布局面板級先進封裝!海德漢推出新平台,運動控制精度瞄準 5 奈米
作者 林妤柔全文約 1,676 字
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科技新報 · 文章頁摘要海德漢(HEIDENHAIN)美國分公司總裁兼執行長 David Doyle 在 SEMICON West 接受採訪時表示,公司推出全新 METIS HP 平台,鎖定半導體面板級應用,透過高精度運動控制技術,協助設備業者因應先進封裝、量測與檢測等製程挑戰,並持續朝 5 奈米精度與重複性發展。 在被問...

海德漢(HEIDENHAIN)美國分公司總裁兼執行長 David Doyle 在 SEMICON West 接受採訪時表示,公司推出全新 METIS HP 平台,鎖定半導體面板級應用,透過高精度運動控制技術,協助設備業者因應先進封裝、量測與檢測等製程挑戰,並持續朝 5 奈米精度與重複性發展。...