陸國產曝光機再突破!海思8英寸全自動曝光機出廠
作者 楊晴安
文章摘要
中時新聞網 · 文章頁摘要大陸持續推進科技自主,力拼先進製程設備突圍。江蘇海思半導體一台8英寸全自動光罩對準曝光機於13日完成出廠調試與客戶驗收,正式裝車發運。該設備主要用於矽基Micro LED晶圓圖形化製程,將設計圖形轉移至晶圓表面。

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大陸持續推進科技自主,力拼先進製程設備突圍。江蘇海思半導體一台8英寸全自動光罩對準曝光機於13日完成出廠調試與客戶驗收,正式裝車發運。該設備主要用於矽基Micro LED晶圓圖形化製程,將設計圖形轉移至晶圓表面。

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