大陸EUV領域重大突破！　光源樣機曝光：國產化率高達90％

作者陳冠宇10/15 10:58

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創立僅兩年的大陸半導體新秀「朗道科技」，近日在上海舉行的第二十六屆中國國際工業博覽會上，首次公開展示一台EUV光源系統樣機。陸媒指出，這是目前公開展示中「進度最靠前」的大陸國產EUV光源樣機，被稱作高端曝光機的「心臟」。(半導體,曝光機,ASML,艾司摩爾,EUV晶圓,朗道科技)

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