ASML 擬升級 EUV 光源至 1,000W，晶圓產能有望提升 50%

綜合外電報導，荷蘭半導體設備大廠 ASML 傳出在極紫外光（EUV）技術上取得關鍵進展，規劃將光源功率由 60 […]...