鉅亨網

EUV光源功率可提升至千瓦!艾司摩爾:2030年每小時晶圓產量可望提升50%

署名 鉅亨網編譯陳韋廷

《路透社》周一 (23 日) 獨家報導指出,艾司摩爾最新表示,已找到可大幅提升關鍵晶片製造機器光源功率的方法,進而能在 2030 年前將晶片產量提高多達 50%。 這家半導體設備製造龍頭的研究人員指出,透過提升功率,可將光刻機極紫外光源的功率提升至 1000 瓦,預計到 2030 年極紫外光 (E...