開創生醫應用新局，imec 靠 ASML EUV 設備成功實現晶圓級奈米孔

比利時微電子研究中心（imec）已成功展示利用 ASML 最先進的極紫外光（EUV）微影設備，實現晶圓級規模的 […]...