科技新報

中芯國際藉 DUV 曝光機多重曝光完成 5 奈米節點製程量產目標

作者 Atkinson

根據外媒報導，中國最大本土晶圓製造企業中芯國際（SMIC）已正式達成其最新的 5 奈米節點製程的量產，也就是 […]...

https://technews.tw/2025/12/12/smic-achieves-mass-production-target-for-5nm-process-using-duv-lithography-machine-with-multiple-exposures/