俄羅斯公布 EUV 光刻工具藍圖，取代 DUV 技術計畫遭質疑

俄羅斯科學院近日公布了 2026 年至 2037 年的極紫外光（EUV）光刻工具發展藍圖，計劃取代傳統深紫外光 […]...