imec 宣布單次曝光 High NA EUV 微影技術重大突破，推進 2 奈米以下製程發展

作者 Atkinson2025/9/29 10:10

比利時微電子研究中心（imec）日前發布重大消息，宣布其在高數值孔徑極紫外曝光（High NA EUV）單次圖 […]...