科技新報

中國科學家開發突破性固態 DUV 雷射光源,可應用半導體製造設備

作者 林妤柔

據國際光電工程學會(SPIE)報導,中國科學院(CAS)研究人員成功研發突破性的固態深紫外(DUV)雷射,能發 […]...