科技新報

英特爾吃光初期 ASML High NA EUV 產能,但要獲青睞還有路得走

作者 Atkinson

英特爾日前宣布,完成世界首套商用高數值孔徑(High NA)EUV 曝光機的安裝,而這套資約 3.5 億美元( […]...