科技新報

新標準型 EUV 採部分High-NA EUV 技術,提升曝光效率逾 20%

作者 Atkinson

根據荷蘭媒體 Bits&Chips 的報導,曝光機大廠 ASML 官方已經確認,其新一代標準型 0.3 […]...