國科會原子針尖斷層影像儀極致前瞻 解析原子3維構築

國科會砸7千萬元建構學術界首台「原子針尖斷層影像儀（APT）」，今（19日）首度曝光，跟上極致前瞻的材料分析技術，能微觀解析奈米尺度下的原子分布立體3維構築，同時達近20ppm成分濃度偵測，可望助攻半導體元件朝下世代材料邁進，更可擴展前瞻應用材料如金屬、光電、能源、量子等領域。...