台積電「浸潤式微影之父」林本堅出任清大半導體學院院長

來源中央社2022/9/12 15:26

他在台積電任職期間發明的「浸潤式微影技術」，最終讓業界放棄在乾式技術投資逾 10 億美元，並且被艾司摩爾（ASML）看重及採用，自此展開台積電與 ASML 攜手並進的半導體全新世代。...