台積電導入乾式光罩潔淨技術創20億元效益

未署名2020/7/31 21:10

台積電持續精進製程，自107年起導入乾式極紫外光（EUV）光罩潔淨技術，解決無保護膜EUV光罩的落塵問題，今年成功使落塵削減率超過99%，累計創造新台幣20億元改善效益。...