鉅亨網台積電首創乾式EUV光罩潔淨技術 改善效益達20億元
署名 鉅亨網記者林薏茹 台北
晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 領先全球導入極紫外光 (EUV) 微影製程技術，並首創環境友善的「乾式 EUV 光罩潔淨技術」，取代傳統沖洗流程，今年落塵率已削減達 99%，除使光罩使用率躍升超過 8 成，也延長先進製程 EUV 光罩...
晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 領先全球導入極紫外光 (EUV) 微影製程技術，並首創環境友善的「乾式 EUV 光罩潔淨技術」，取代傳統沖洗流程，今年落塵率已削減達 99%，除使光罩使用率躍升超過 8 成，也延長先進製程 EUV 光罩...