台積電導入奈米氣泡洗淨技術　預估年省超純水76萬立方公尺

▲台積電。（圖／記者高兆麟攝） 記者高兆麟／台北報導 為兼顧先進製程的高潔淨需求與永續承諾，台積電優化管路設備清洗模式，導入奈米氣泡洗淨技術並結合自主研發的雙閉環智慧監控機制，不僅有效減少管路微粒雜質與化學藥劑用量，更縮短新廠驗機時程35天；未來全面導入台灣十二吋晶圓廠區後，可年省76萬立方公尺超純...