陸產 EUV 光源樣機現身了 朗道燧岩展出高端曝光機心臟

外界關注大陸極紫外光（EUV）研發進度，在上海舉行的中國工博會上，大陸廠商朗道燧岩展出高端曝光機心臟的光源樣機，並非整機，該廠商表示，低功率的國產EUV也需約三至五年才能量產，真正被應用還有長路要走，本次展出是希望能獲得市場的信心。