無塵室機台維護不再靠人力？三星成立 AX/PI 專隊研發晶圓廠機器人，加速推進 2030 自主化生產

三星成立專屬團隊研發晶圓廠專用機器人，目標於 2030 年落實生產自主化。透過導入機器人執行晶圓廠內部的機台維護，可有效降低人為干擾並提升效率，全面加速半導體智慧工廠的自主化轉型藍圖。