AI擴產"洗"出新商機 半導體潔淨度牽動良率

AI晶片持續往高算力發展，先進製程、3D封裝同步升級，也讓半導體製程對「潔淨度」的要求越來越高。不只晶圓要洗，就連運送晶圓的FOUP，也成為清洗設備的新戰場。台灣設備廠從晶圓清洗、濕製程，一路延伸到載具清洗。最主要是AI擴產，帶動「清洗」從製程需求，進一步延伸出新的設備商機。……