台大攜手台積電建置半導體研發平台 4億打造先進製程人才培育基地

因應半導體產業持續蓬勃發展及產業人才需求，台灣大學重點科技研究學院在國科會「半導體學院重點設備建置專案計畫」支持，於台大水源校區卓越研究大樓建置先進半導體製程研究場域，攜手台積電、力積電、群創等國內科技業者，共同培育研發人才。目前國科會已投入約3億元，台大校方則挹注約1億元，建置11台先進製程及量測設備，涵蓋8項晶圓製程，打造產學合作及半導體人才培育的重要研發平台。

在台大水源校區卓越研究大樓內建置的半導體先進製程研發平台，設有無塵室及量測設備，包含解析度可達8奈米的電子束微影、原子層薄膜沉積與蝕刻，以及奈米材料與半導體元件量測等11台設備，可支援8吋晶圓製程，串聯元件製作、製程開發及分析驗證，提供一站式研發服務，並打造開放各大學及產業界使用的共享創新研發平台。

計畫執行團隊代表、台大重點科技研究學院教授陳建甫表示，台大部分由重點科技研究學院執行，經費則由國科會投入約3億元、台大校方自籌約1億元，用於建置設備及研發環境。無塵室平台近3年累計使用人次突破1萬2000人，其中近3成來自校外學術單位及產業界，透過建構半導體製程共享平台，串聯台北地區及其他區域的研發需求，進一步強化區域技術創新與半導體人才培育能量。

開課方面，陳建甫指出，114、115學年度開設「半導體製程與設備等相關製程課程」，每年參與學生人數達130人；115學年度將開設「半導體無塵室安全與先進設備導覽、半導體微製程與晶圓分析」課程，預計每年修課人數可達50人。

在產學合作方面，陳建甫提到，與台積電、力積電、鈺創、富采、瑞儀、群創等國內知名科技業合作，合作金額共計約8400萬元，研究聚焦先進半導體製程技術與設備開發、新世代記憶體與AI運算電子元件，以及矽光子與先進光電元件等領域。國際合作則與美國賓夕法尼亞大學共同成立半導體研究中心，推動跨國專題研究及人才培育，拓展半導體研發與人才培育的國際合作網絡。