科技新報

從本土國產 DUV 設備到開放模型,中國持續聚焦 AI 自主化布局

作者 拓墣產研

2026 年 7 月底,外媒報導中國正推進 193nm 浸潤式(Immersion)DUV 曝光機研發與導入驗 […]...