科技新報

EUV 之後會是什麼?ASML 展開 Hyper-NA 時代計畫

署名 TechNews 編輯台

荷蘭晶片設備大廠 ASML 在 SPIE EUVL 2026 說明,強調 EUV 仍是先進製程擴產的重要瓶頸, […]...