科技新報

威科儀器和 imec 開發 12 吋相容製程，成功把鈦酸鋇整合到矽光子

作者 Atkinson

威科儀器（Veeco）與比利時微電子研究中心（imec）今日宣布，雙方已經合作開發一套與 12 吋晶圓相容的量 […]...

https://technews.tw/2026/01/30/veeco-and-imec-have-developed-a-12-inch-compatible-process-to-successfully-integrate-barium-titanate-into-silicon-photonics/