科技新報

為什麼有了極致先進 EUV，半導體製程仍對 DUV 不可或缺？

作者 Atkinson

全球半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)日前在一場公開活動中，公布了其新一代高數值孔徑極紫外光（High-NA […]...

https://technews.tw/2025/11/27/why-is-duv-still-indispensable-in-semiconductor-manufacturing-processes-even-with-the-advanced-euv-technology/