盛美半導體首台高產能 KrF 塗膠顯影設備，成功交給中國邏輯晶圓廠

作者林妤柔2025/9/18 18:09

盛美半導體設備今（18 日）宣佈推出首款 KrF 製程前道塗膠顯影設備 Ultra Lith，旨在支持半導體前 […]...