科技新報

為降低成本，台積電放棄 A14 製程用 High-NA EUV 生產

作者 Atkinson

外媒報導，納入半導體新元素方面，台積電一直是領先企業，且領導趨勢。但現在似乎 A14 製程放棄 High-NA […]...

https://finance.technews.tw/2025/04/29/tsmc-abandons-the-use-of-high-na-euv-exposure-machine-in-a14-node-process/