科技新報

台積電搶先三星收到 High-NA EUV，ASML 還給折扣

作者 Atkinson

進入 2 奈米以下埃米時代後，ASML 高數值孔徑極紫外光 (High-NA EUV) 曝光機就成為先進製程半 […]...

https://technews.tw/2024/09/10/tsmc-receive-1st-high-na-euv/
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