科技新報

新 EUV 時代來臨,imec 以 High-NA EUV 展示邏輯與 DRAM 架構

作者 Atkinson

比利時微電子研究中心(imec)在荷蘭 Eindhoven 與艾司摩爾(ASML)合作建立的高數值孔徑極紫外光 […]...