科技新報

台積電暫不用 High NA EUV 曝光機規劃,可能因一事後有所改變

作者 Atkinson

外媒引用晶圓代工龍頭台積電先前的說法報導指出,即使沒有使用 ASML 最新的 High NA EUV 曝光機, […]...