科技新報

晶片製造邁入「零度以下」:SK 海力士擬在 -70°C 生產 3D NAND

作者 林妤柔

SK 海力士正在測試東京威力科創(TEL)最新的低溫蝕刻工具,可在 -70°C 工作,以實現 400 層以上新 […]...