科技新報

曝光技術大進展！三星稱關鍵材料 EUV 光罩護膜「透光率達 90%」

作者 林妤柔

三星電子在 EUV 曝光技術取得重大進展，韓媒 Business Korea 報導，三星電子 DS 部門研究員 […]...

https://technews.tw/2023/12/04/samsung-electronics-euv-pellicle-achieves-90-transmission-rate/