科技新報

成本僅 ASML 小部分!Canon 最新 NIL 微影設備,能翻轉晶圓製造生態嗎?

作者 林妤柔

日本半導體設備大廠 Canon 推出「奈米壓印」(NIL)技術的微影設備,可用於製造 5 奈米晶片,挑戰半導體 […]...