2 奈米製程大戰！ASML 下代 EUV 曝光機年底問世，台積電、三星紛卡位

作者 林妤柔

台積電以不超過 4.328 億美元額度，取得英特爾旗下 IMS 事業（奧地利商艾美斯電子束科技）10% 股份， […]...

https://technews.tw/2023/09/14/tsmc-samsung-asml-next-gen-lithography-equipment/