科技新報

imec 與 ASML 簽定備忘錄,強化雙方在 high-NA EUV 合作

作者 Atkinson

比利時微電子研究中心(imec)及艾司摩爾(ASML)於 30 日宣布,雙方計劃在開發最先進高數值孔徑(hig […]...